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        有机玻璃的反应离子刻蚀机理PMMA的反应离子刻蚀就是有机玻璃在氧等离子体中的氧化分解过程。在只考虑稳态产物和外部的放电参数时，氧化机理可以表示为如下宏观的反应模型。在这个反应模型中，反应产物可以相互间转化。产生氧活性粒子的气相激活过程和提供能量的离子轰击过程是相关的，这两者都受溅射功率密度的影响，与溅射功率呈线性关系，因为这两个反应中等离子体的激活过程是***重要的。由此可知，反应离子刻蚀PMMA的过程中，氧活性粒子是氧化刻蚀的主要活性粒子，同时离子碰撞PMMA表面对刻蚀反应也较关键。
　　功率和有机玻璃的反应离子深刻蚀气压对刻蚀过程很重要，提高功率使电子密度增加，气体中的氧活性粒子浓度变大，因而PMMA更快分解；同时离子能量增大，通过离子碰撞，加速表面化学反应，反应产物浓度会提高，离子碰撞也会促进反应产物的解吸。气压升高会提高氧气浓度，另一方面会使电子密度降低，氧活性粒子浓度则取决于这两个因素的叠加结果。随气压升高，离子能量降低，使吸附气体表面密度更高，同时对化学反应的促进作用减弱。刻蚀工艺参数的影响。刻蚀气压的影响实验中保持功率和气体成分不变，工作气压p从1.33Pa变化到9.98Pa，考察了气压变化对刻蚀速率等的影响。